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자료유형
학술저널
저자정보
권병완 (경희대학교 환경.응용화학대학) 김진수 (경희대학교 환경.응용화학대학) 박정훈 (한국에너지기술연구원 화석에너지 환경연구부)
저널정보
한국공업화학회 공업화학 공업화학 제19권 제1호
발행연도
2008.1
수록면
117 - 121 (5page)

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본 연구에서는 정전분무법을 이용하여 YSZ 박막을 제조하였다. 제조된 박막은 제조시 전구체 용액, 지지체 온도 등에 크게 영향을 받았으며, 특히 지지체 온도가 $400^{\circ}C$일 때 치밀한 YSZ 박막을 형성할 수 있었다. 최적조건 하에서 정전분무법을 활용하면 약 $12{\mu}m/h $의 속도로 치밀한 YSZ 박막을 형성할 수 있었다. 제조된 박막은 XRD, FE-SEM, EDX 등을 이용하여 분석하였다.
#YSZ #thin film #electrostatic spray deposition #SOFC #electrolyte

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