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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
박성환 (계명대학교 화학공학과) 하기룡 (계명대학교 화학공학과)
저널정보
한국공업화학회 공업화학 공업화학 제21권 제2호
발행연도
2010.1
수록면
224 - 229 (6page)

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Transparent conducting oxide (TCO) 박막은 평판 디스플레이 산업에 널리 사용되고 있다. 화학적으로 우수한 투명전도성 Indium Zinc Oxide (IZO) 필름은 Indium Tin Oxide (ITO) 필름의 대체 물질로 관심을 끌고 있다. 본 연구에서는 90 : 10 wt%의 $In_2O_3$와 ZnO를 혼합하여 만든 타겟으로 전자빔 증착법을 이용하여 polynorbornene (PNB) 기판 위에 IZO 박막을 제조하였다. UV/Visible spectrophotometer, 4-Point Probe를 이용하여 증착 두께와 산소도입 속도에 따른 IZO 필름의 전기적 및 광학적 특성을 연구하였으며, SEM, XRD 및 XPS를 이용하여 증착된 IZO의 구조적 특성 및 표면조성비를 연구하였다.
#indium zinc oxide #IZO) #polynorbornene #PNB) #E-beam deposition #transparent conductive oxide #TCO) #flexible display

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