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자료유형
학술저널
저자정보
최광민 (삼성전자 건강연구소) 정명구 (삼성전자 건강연구소) 안희철 (삼성전자 건강연구소)
저널정보
한국산업보건학회 (구 한국산업위생학회) 한국산업보건학회지 한국산업보건학회지 제25권 제3호
발행연도
2015.1
수록면
294 - 300 (7page)

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Objectives: The aim of this study is to identify physicochemical properties such as chemical composition, size, shape and crystal structure of powder byproducts generated from a metallization process and its 1st scrubber in the semiconductor industry. Methods: Powder samples were collected from inner chambers during maintenance of the W-plug process equipment (using tungsten hexafluoride as a precursor material) and its 1st scrubber. The chemical composition, size and shape of the powder particles were determined by field emission scanning electron microscopy (SEM) and transmission electron microscopy (TEM) equipped with an energy dispersive spectroscope (EDS). The crystal structure of the powders was analyzed by X-ray diffraction (XRD). Results: From the SEM-EDS and TEM-EDS analyses, O and W were mainly detected, which indicates the powder byproducts are tungsten trioxide ($WO_3$), whereas Al, F and Ti were detected as low peaks. The powder particles were spherical and nearly spherical, and the particle size collected from the process equipment and its 1st scrubber showed 10-20 nm (agglomerates: 55-90 nm) and 16-20 nm (agglomerates: 80-120 nm) as primary particles, respectively. The XRD patterns of the yellow powder byproducts exhibit five peaks at $23.8^{\circ}$ $33.9^{\circ}$ $41.74^{\circ}$ $48.86^{\circ}$ and $54.78^{\circ}$ which correspond to the (200), (220), (222), (400), and (420) planes of cubic $WO_3$. Conclusions: We elucidated the physicochemical characteristics of the powder byproducts collected from W-plug process equipment and its 1st scrubber. This study should provide useful information for the development of alternative strategies to improve the working environment and workers' health.
#metallization process #physicochemical properties #powder by-product #semiconductor #tungsten oxide

목차

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Balazsi Cs / 2001 / The observation of cubic tungsten trioxide at high-temperature dehydration of tungsten acid hydrate / Solid State Ionics 141-142:411~416 google schola Choi KM / 2013 / Hazard identification of powder generated from a chemical vapor deposition process in the semiconductor manufacturing industry / J Occup Environ Hyg 10(1):D1~D5 google schola Choi KM / 2015 / Identifying the hazard characteristics of powder by-products generated semiconductor fabrication processes / J Occup Environ Hyg 12(2):114~122 google schola Choi KM / 2015 / Exposure characteristics of nanoparticles as process by-products for the semiconductor manufacturing industry / J Occup Environ Hyg 12(8):D153~D160 google schola 최광민 / 2015 / 반도체 작업환경 내 부산물로 생성되는 실리카 입자의 크기, 형상 및 결정 구조 / 한국산업보건학회지 25(1):36~44 dbpia

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