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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2016.1
- 수록면
- 70 - 75 (6page)
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GZO films prepared on ITO glasses were annealed at various temperatures in a vacuum condition to research the relationship between oxygen vacancies and optical properties. GZO films after annealing in a vacuum showed the various optical-chemical properties depending on the annealing temperatures and oxygen gas flow rate during the deposition. The oxygen vacancy of GZO film prepared by oxygen gas flows of 22 sccm increased with increasing the annealing temperatures, because of the extraction of oxygen by the annealing. But the intensity of photoluminance of GZO with 22 sccm decreased in accordance with the annealing temperature, because of the reduction of ionized charge carriers. The oxygen vacancy by the extraction of oxygen enhanced a depletion, so the widen depletion had the strong Schottky barrier and the PL intensity due to the low carrier density decreased.
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오데레사 / 2014 / 쇼키컨텍에 의한 박막형 트랜지스터의 전기적 특성 / 한국재료학회지 24(3):135~139
고정완 / 2015 / XPS와 XRD 분석을 이용한 ITO 박막의 결정성과 비정질 특성에 관한 연구 / 반도체디스플레이기술학회지 14(4):20~24
유덕연 / 2014 / ZnO 박막트랜지스터의 어닐링 조건에 따른 전류 변화 / 반도체디스플레이기술학회지 13(1):63~66
오데레사 / 2015 / SiOC 절연박막 특성에 의존하는 ITO 투명박막의 전기적인 특성과 오믹접합의 효과 / 한국재료학회지 25(7):352~357
Janotti / 2006 / New insights into the role of native point defects in ZnO / J. Cryst. Growth 287:58~65
고정완 / 2015 / XPS와 XRD 분석을 이용한 ITO 박막의 결정성과 비정질 특성에 관한 연구 / 반도체디스플레이기술학회지 14(4):20~24
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