초임계 유체와 공용매를 이용한 미세전자기계시스템 웨이퍼의 식각, 세정을 위한 최적공정조건

노성래; 유성식

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자료유형: 학술저널

저자정보: 노성래 (한국기술교육대학교 에너지 신소재 화학공학부) 유성식 (한국기술교육대학교 에너지 신소재 화학공학부)

저널정보: 한국반도체디스플레이기술학회 반도체디스플레이기술학회지 반도체디스플레이기술학회지 제16권 제3호

발행연도: 2017.1

수록면: 41 - 46 (6page)

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This study aims to select suitable co-solvents and to obtain optimal process conditions in order to improve process efficiency and productivity through experimental results obtained under various experimental conditions for the etching and rinsing process using liquid carbon dioxide and supercritical carbon dioxide. Acetone was confirmed to be effective through basic experiments and used as the etching solution for MEMS-wafer etching in this study. In the case of using liquid carbon dioxide as the solvent and acetone as the etching solution, these two components were not mixed well and showed a phase separation. Liquid carbon dioxide in the lower layer interfered with contact between acetone and Mems-wafer during etching, and the results after rinsing and drying were not good. Based on the results obtained under various experimental conditions, the optimum process for treating MEMS-wafer using supercritical CO2 as the solvent, acetone as the etching solution, and methanol as the rinsing solution was set up, and MEMS-wafer without stiction can be obtained by continuous etching, rinsing and drying process. In addition, the amount of the etching solution (acetone) and the cleaning liquid (methanol) compared to the initial experimental values can be greatly reduced through optimization of process conditions.

#MEMS #wafer #supercritical #etching #stiction

참고문헌 (13)

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Kazuo, S. / 2013 / Perspective of Micro-Nano Science and Technology / Journal of the japan society of mechanical engineers 116:12~15

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Han, G.S. / 2006 / Wafer Cleaning using Supercritical Carbon Dioxide / Prospectives of industrial chemistry 9:2~11

Jafri, I. / 1999 / Critical Point Drying and Cleaning for MEMS Technology / Proc.-SPIE Int. Soc. Opt. Eng 3880:51~58

Tas, N. / 1996 / Stiction in surface micromachining / J. Micromech. Microeng 6:385

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이 논문의 저자 정보

노성래

소속기관 한국기술교육대학교 에너지 신소재 화학공학부

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 1 이용수 37

You, Seong-sik

소속기관 한국기술교육대학교 에너지 신소재 화학공학부

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

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