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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2014.1
- 수록면
- 61 - 67 (7page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (7)
2014
실리콘 웨이퍼 근적외선 영상 특징 기반 결함 분류에 관한 연구
서형준
,
김경범
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014.10
학술대회자료
실리콘 웨이퍼의 크랙 검출을 위한 실험계획법 기반 비등방성 확산 필터의 최적조건 선정
서형준
,
김경범
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014.05
학술대회자료
실리콘 웨이퍼의 마이크로 크랙 형태와 근적외선 영상패턴과의 상관관계 분석
서형준
,
김경범
,
김상연
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014.05
학술대회자료
비등방 확산 필터의 최적조건 선정을 통한 태양전지 실리콘 웨이퍼의 마이크로 크랙 검출
서형준
,
김경범
반도체디스플레이기술학회지
2014.01
학술저널
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Micro-cracks in crystalline silicon wafer often result in wafer breakage in solar wafer manufacturing, and also their existence may lead to electrical failure in post fabrication inspection. Therefore, the reliable detection of micro-cracks is of importance in the photovoltaic industry. In this paper, an experimental method to select optimal parameters in anisotropic diffusion filter is proposed. It can reliably detect micro-cracks by the distinct extension of boundary as well as noise reduction in near-infrared image patterns of micro-cracks. Its performance is verified by experiments of several type cracks machined.
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