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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 김경범
- 발행연도
- 2015
- 저작권
- 한국교통대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수3
이 논문의 연구 히스토리 (7)
2014
실리콘 웨이퍼 근적외선 영상 특징 기반 결함 분류에 관한 연구
서형준
,
김경범
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014.10
학술대회자료
실리콘 웨이퍼의 크랙 검출을 위한 실험계획법 기반 비등방성 확산 필터의 최적조건 선정
서형준
,
김경범
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014.05
학술대회자료
실리콘 웨이퍼의 마이크로 크랙 형태와 근적외선 영상패턴과의 상관관계 분석
서형준
,
김경범
,
김상연
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014.05
학술대회자료
비등방 확산 필터의 최적조건 선정을 통한 태양전지 실리콘 웨이퍼의 마이크로 크랙 검출
서형준
,
김경범
반도체디스플레이기술학회지
2014.01
학술저널
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본 논문에서는 실리콘 웨이퍼 마이크로 크랙을 분류하는 방법에 대하여 연구하였다.
우선, 실리콘 웨이퍼 내부에 존재하는 마이크로 크랙을 검출하기 위해 근적외선 광학계를 구성하였다. 구성된 근적외선 광학계로 측정한 영상은 저대비 영상이기 때문에 비등방 확산 필터를 적용하여 영상의 품질을 향상시켰다.
다음으로 실험의 모의성 및 편의성을 위해 실리콘 웨이퍼 결함시편을 가공하여 주성분 분석법과 신경회로망을 이용한 분류실험을 하였다. 그 결과 주성분 분석법은 마이크로 크랙의 크기분류에 대하여 취약하며 형태분류의 가능성을 보이며, 신경회로망은 선정된 특징을 통해 형태와 크기를 분류할 수 있지만 간혹 크기에 대하여 오차율이 높게 나온 경우가 보인다.
마지막으로 주성분분석법과 신경회로망을 결합하여 두 기법의 문제점을 보안하였다. 그 방법으로 주성분분석법으로 얻은 고유값을 신경회로망의 입력에 대한 특징으로 추가하였다, 그 결과 형태와 크기에 대하여 만족할 만한 오차범위로 분류가 되었다.
우선, 실리콘 웨이퍼 내부에 존재하는 마이크로 크랙을 검출하기 위해 근적외선 광학계를 구성하였다. 구성된 근적외선 광학계로 측정한 영상은 저대비 영상이기 때문에 비등방 확산 필터를 적용하여 영상의 품질을 향상시켰다.
다음으로 실험의 모의성 및 편의성을 위해 실리콘 웨이퍼 결함시편을 가공하여 주성분 분석법과 신경회로망을 이용한 분류실험을 하였다. 그 결과 주성분 분석법은 마이크로 크랙의 크기분류에 대하여 취약하며 형태분류의 가능성을 보이며, 신경회로망은 선정된 특징을 통해 형태와 크기를 분류할 수 있지만 간혹 크기에 대하여 오차율이 높게 나온 경우가 보인다.
마지막으로 주성분분석법과 신경회로망을 결합하여 두 기법의 문제점을 보안하였다. 그 방법으로 주성분분석법으로 얻은 고유값을 신경회로망의 입력에 대한 특징으로 추가하였다, 그 결과 형태와 크기에 대하여 만족할 만한 오차범위로 분류가 되었다.
목차
Ⅰ. 서 론 11. 연구 배경 및 필요성 12. 연구 내용 4Ⅱ. 실리콘 웨이퍼의 근적외선 영상 취득 장치 61. 근적외선 62. 실리콘 웨이퍼 근적외선 투과율 73. 근적외선 광학계 구성 94. 근적외선 영상의 품질 향상 105. 실리콘 웨이퍼의 마이크로 크랙 가공 13Ⅲ. PCA와 신경회로망을 이용한 실리콘 웨이퍼 마이크로 크랙 분류 151. 주성분분석법 151.1 주성분분석 알고리즘 151.2 주성분분석 기반 결함 분류실험 및 검토 182. 신경회로망 282.1 신경회로망 알고리즘 282.2 근적외선 영상 특징선정 322.2.1 마이크로 크랙의 크기별 특징 도출 322.2.2 마이크로 크랙의 형태별 특징 도출 372.3 신경회로망 기반 결함 분류실험 및 검토 393. 주성분분석법과 신경회로망 결합에 의한 결함 분류 실험 및 검토 47Ⅳ. 결론 51참 고 문 헌 53Abstract 57
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