AlGaN/GaN-on-Si 이종접합 기반의 고감도 수소센서

최준행; 조민기; 김형탁; 이호경; 차호영

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자료유형: 학술저널

저자정보: 최준행 (School of Electronic and Electrical Engineering, Hongik University) 조민기 (School of Electronic and Electrical Engineering, Hongik University) 김형탁 (School of Electronic and Electrical Engineering, Hongik University) 이호경 (School of Electronic and Electrical Engineering, Hongik University) 차호영 (School of Electronic and Electrical Engineering, Hongik University)

저널정보: 한국전력공사 KEPCO Journal on electric power and energy KEPCO Journal on electric power and energy 제5권 제1호

발행연도: 2019.1

수록면: 39 - 43 (5page)

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연구방법

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연구결과

이 논문의 연구 히스토리 (2)

2020

AlGaN/GaN 이종접합 트랜지스터에 기반한 ZnO-NPs/Pd 이중 층 기능화 수소 가스 센서

최준행 , 박태현 , 장찬희 외 2명 대한전자공학회 학술대회 2020.08 학술대회자료

2019

AlGaN/GaN-on-Si 이종접합 기반의 고감도 수소센서

최준행 , 조민기 , 김형탁 외 2명 KEPCO Journal on electric power and energy 2019.01 학술저널

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에너지 고갈 문제에 대한 대처 방안으로 수소에너지는 직간접적인 긍정적 효과를 가져온 반면, 사용시 안정성이 매우 중요한 사항이기 때문에 수소가스에 대한 정확하고 빠른 감지를 가능하게 하는 센서 기술이 요구된다. 본 연구에서는 AlGaN/GaN 이종접합 반도체 플렛폼을 활용하여 Pd 촉매 기반의 수소센서를 개발하였으며 감도를 높이기 위하여 식각 구조를 도입하였다. 온도 및 바이어스 전압이 센서의 반응도에 미치는 영향을 수소가스 위험도 최하한선 농도인 4% 수소 농도에 노출된 경우에 대하여 세심하게 분석하였다. AlGaN/GaN 이종접합의 우수한 특성에 식각 구조가 도입된 결과 56%의 높은 반응도와 0.75 초의 빠른 응답 속도 성능을 달성하였다.

#AlGaN/GaN #heterostructure #Pd catalyst #sensitivity #hydrogen #recess

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