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자료유형
학술저널
저자정보
Nam, Hyo-Jin (LG Electronics Institute of Technology) Kim, Young-Sik (LG Electronics Institute of Technology) Lee, Caroline Sunyong (LG Electronics Institute of Technology) Jin, Won-Hyeog (LG Electronics Institute of Technology) Jang, Seong-Soo (LG Electronics Institute of Technology) Cho, Il-Joo (LG Electronics Institute of Technology) Bu, Jong-Uk (LG Electronics Institute of Technology)
저널정보
정보저장시스템학회 정보저장시스템학회논문집 정보저장시스템학회논문집 제1권 제1호
발행연도
2005.1
수록면
73 - 77 (5page)

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In this paper, a new silicon nitride cantilever integrated with silicon heater and piezoelectric sensor has been firstly developed to improve the uniformity of the initial bending and the mechanical stability of the cantilever array for thermo-piezoelectric SPM(scanning probe microscopy) -based data storages. This nitride cantilever shows thickness uniformity less than $2\%$. Data bits of 40 nm in diameter were recorded on PMMA film. The sensitivity of the piezoelectric sensor was 0.615 fC/nm after poling the PZT layer. For high speed operation, 128${\times}$128 probe array was developed.
#Cantilever #PZT #Probe #Data storage #AFM

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