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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2020.12
- 수록면
- 229 - 234 (6page)
- DOI
- 10.5370/KIEEP.2020.69.4.229
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In this paper, a UV LED-based edge exposure controller with illuminance compensation function was developed. The exposure controller"s light intensity control is implemented to enable 255 levels of brightness control in a digital method instead of the conventional analog method. In addition, in order to solve the disadvantage of decreasing the light output as the temperature increases, an illuminance compensation algorithm was developed and applied using a linear regression model. As a result of experimenting for 5 steps between ADC 120 and 210, it can be seen that the problem of light output decreases with temperature increase before illuminance compensation, but after applying the illuminance compensation algorithm, constant light output occurs regardless of temperature increase.
목차
Abstract
1. 서론
2. 조도 보상 기능을 갖는 UV LED 기반의 엣지 노광 제어기 개발
3. 실험 및 결과
4. 결론
References
참고문헌 (12)
참고문헌 신청
Jun Ho Sung, Soon Jae Yu, Kawan Anil, and Mee Suk Jung, “Fabrication of 365 nm Wavelength High Transmittance Silicone Resin TIR Lens and High Directivity Light Source Module for Exposure System,” J. Korean Inst. Electr. Electron. Mater. Eng. Vol. 31, No. 4, pp. 267-271, 2018.
In-Deok Kim, “A Study on the Performance of Optical System and Heatsink for UV LED Stepper,” master’s thesis, Korea Polytechnic University, 2019.
Lee Jeongsu, “A study on lens design technology for scan exposure using UVA LED,” master’s thesis, Korea Polytechnic University, 2018.
Jeong-Su Lee, Ye-Ji Jo, Hyun-Hwa Lee, Mi-Seon Kong, Dong-Hwa Kang, and Mee-Suk Jung, “A Study of Lens Design Technique for Proximity Exposure Using a UVA LED,” Korean Journal of Optics and Photonics, Vol. 30, No. 4, pp. 146-153, 2019.
Dae Jeong Kim, Yun Jeong Park, Taeho Jung, “Development of a Mask Aligner Simulator for Education,” Journal of Korea Society for Simulation, Vol. 26, No. 4, pp. 43-49, 2017.
In-Deok Kim, “A Study on the Performance of Optical System and Heatsink for UV LED Stepper,” master’s thesis, Korea Polytechnic University, 2019.
Lee Jeongsu, “A study on lens design technology for scan exposure using UVA LED,” master’s thesis, Korea Polytechnic University, 2018.
Jeong-Su Lee, Ye-Ji Jo, Hyun-Hwa Lee, Mi-Seon Kong, Dong-Hwa Kang, and Mee-Suk Jung, “A Study of Lens Design Technique for Proximity Exposure Using a UVA LED,” Korean Journal of Optics and Photonics, Vol. 30, No. 4, pp. 146-153, 2019.
Dae Jeong Kim, Yun Jeong Park, Taeho Jung, “Development of a Mask Aligner Simulator for Education,” Journal of Korea Society for Simulation, Vol. 26, No. 4, pp. 43-49, 2017.
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