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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2019.9
- 수록면
- 163 - 168 (6page)
- DOI
- 10.5370/KIEEP.2019.68.3.163
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Accurate contact between the probe needle and the wafer pad must be made to diagnose the electrical condition of the wafer. When a non-contact, over-contact, or contact other than the pad between the wafer pad and the needle is caused by a broken needle in the probe card device, a good wafer chip is recognized as a defect, so a system and program for diagnosing the needle condition are necessary. In this paper, we designed a high-resolution optical system with 1㎛ optical resolution and developed an algorithm to examine the condition of the needle. In order to verify the validity of the proposed method, a mask pattern having a diameter of 20 ㎛ was fabricated and tested. As a result of the experiment, the morphology consisting of expansion and erosion operation showed that the circular diameter measurement error was within ±1㎛, indicating the validity of the mechanical design and the circular diameter detection algorithm. The result of the roundness test was 94.31%.
목차
Abstract
1. 서론
2. 프로브 카드 검사용 고해상도 광학 시스템 설계
3. 프로브 카드 검사 알고리즘 개발
4. 실험 결과
5. 결론
References
참고문헌 (8)
참고문헌 신청
Jinwook Song, Eunjung Lee, and et al., “Probe Card Design with Signal and Power Integrity for afer-Level Application Processor Test in LPDDR Channel,” in Proc. of IEEE 66th Electronic Components and Technology Conference (ECTC), pp. 2442-2448, 2016.
Seok-Jae Ha1, Dong-Woo Kim1, Bong-Cheol Shin1, and Myeong-Woo Cho, “Assessment of Design and Mechanical Characteristics of MEMS Probe Tip with Fine Pitch,” Korea Academia-Industrial cooperation Society vol. 11, no. 4, pp. 1210-1215, 2010.
Cheon-Seog Rim, “The Design of Telecentric Lenses and Fly-eye Lenses by Utilizing ? Formula,” Korean Journal of Optics and Photonics, vol. 24, no. 1, 2013.
Hyun Jin Bang, Jong Ung Lee, Byung Ho Son, Kyo Hoon Ahn, and Eun Jung Choi, “Study on Assessment of MTF Performance and Theoretical Analysis of Convex Trial Lenses,” Korean Journal of Optics and Photonics, vol. 24, no. 5, 2013.
Nobuyuki Otsu, “A threshold selection method from gray-level histograms,” IEEE Transactions on Systems, Man and Cybernetics In N/A, vol. 9, pp.62-66, 1979.
Seok-Jae Ha1, Dong-Woo Kim1, Bong-Cheol Shin1, and Myeong-Woo Cho, “Assessment of Design and Mechanical Characteristics of MEMS Probe Tip with Fine Pitch,” Korea Academia-Industrial cooperation Society vol. 11, no. 4, pp. 1210-1215, 2010.
Cheon-Seog Rim, “The Design of Telecentric Lenses and Fly-eye Lenses by Utilizing ? Formula,” Korean Journal of Optics and Photonics, vol. 24, no. 1, 2013.
Hyun Jin Bang, Jong Ung Lee, Byung Ho Son, Kyo Hoon Ahn, and Eun Jung Choi, “Study on Assessment of MTF Performance and Theoretical Analysis of Convex Trial Lenses,” Korean Journal of Optics and Photonics, vol. 24, no. 5, 2013.
Nobuyuki Otsu, “A threshold selection method from gray-level histograms,” IEEE Transactions on Systems, Man and Cybernetics In N/A, vol. 9, pp.62-66, 1979.
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