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구조화된 표면을 가지는 CMP 연마 패드의 표면 특성이 재료제거율에 미치는 영향
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
Variation of Pad Temperature Distribution by Slurry Supply Conditions
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2020 .12
마찰 온도가 연마 패드의 브레이크 인에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
연마온도 제어에 따른 패드 물성 변화가 Cu CMP 성능에 미치는 영향
한국트라이볼로지학회 학술대회
2018 .10
Investigation of Heat Conditioning Method for CMP Pad
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .04
Identification of the Break-In Mechanism by Asperity Deformation of CMP Pad
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2021 .02
CMP 에서 연마패드 마모에 따른 연마율의 변화
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
저온 환경의 필름형 발열패드 효과에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
DNN을 이용한 CMP 패드 컨디셔닝에서의 패드 마모 프로파일 예측
한국트라이볼로지학회 학술대회
2024 .10
초임계 CO₂ 발전용 파워터빈을 지지하는 틸팅패드 베어링의 열윤활 해석 및 패드 온도 측정
Tribology and Lubricants
2018 .04
컨디셔닝 공정에서 컨디셔너와 연마 패드의 속도비에 따른 CMP 연마 패드 형상 시뮬레이션
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
CMP 에서 패드의 미세돌기 분포가 연마율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
Common-path Optical Interferometry for On-site Measurement of CMP Pad Surface
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .05
CMP에서 패드의 미세돌기 변형을 고려한 연마율 모델링
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .12
제어된 마이크로 패턴 표면 구조를 가지는 CMP 용 연마패드의 장시간 연마 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
CMP 컨디셔닝 시스템에서 연마패드 마모에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2020 .06
표면이 마모된 틸팅 패드 저널베어링의 열윤활 해석 및 온도 측정
Tribology and Lubricants
2017 .08
산화막 CMP 에서 패드 점탄성이 패턴의 단차 감소에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
CMP 에서 스프레이 다중 노즐 시스템을 통한 패드의 균일한 온도 분포의 효과
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
고분자 결함 구조에 따른 CMP pad의 표면 형상 및 CMP 성능 변화 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .04
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