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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2021.2
- 수록면
- 61 - 61 (1page)
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Nanolithography is promising method for nanofabrication and manipulation of nanostructures. There are several techniques of nanolithography such as electron beam lithography, nanoimprint lithography, self-assembly method for nanolithography [1], which show limitation for individual nanostructures ... 전체 초록 보기
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