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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2021.2
- 수록면
- 124 - 124 (1page)
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기존 유전체 두께 측정은 마이크로 미터 정도의 얇은 경우가 대부분이었다. 본 연구에서는 서로 다른 세가지 고주파수를 사용하여 두꺼운 유전체의 두께를 측정하는 전기적 진단 방법을 제안한다. 측정을 위해 유전체의 축전용량, 쉬스의 ... 전체 초록 보기
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