Photolithography with single mask for the shape modulation of micropatterns

Ji Hyeon Shin; Oh Seok Kwon

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Ji Hyeon Shin (Korea Research Institute of Bioscience and Biotechnology) Oh Seok Kwon (Korea Research Institute of Bioscience and Biotechnology)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2021년 한국진공학회 제60회 동계정기학술대회 초록집

발행연도: 2021.2

수록면: 267 - 267 (1page)

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Recent efforts on photolithography has been focused on the scaling-down for the reduction of the feature sizes with utilizing extra device or materials. Herein, we conducted single-mask photolithography method for the shape modulation of desired patterns. By adjusting a few fabri ... 전체 초록 보기

#Photolithography #single mask #micropattern #electrode

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