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학술대회자료
저자정보
김승준 (성균관대학교) 박진홍 (성균관대학교) 허근 (전북대학교)
저널정보
대한전기학회 대한전기학회 워크샵 대한전기학회 ISC 2021 정보 및 제어 심포지엄
발행연도
2021.4
수록면
196 - 196 (1page)

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게이트 전극이 반도체 소자의 성능에 영향을 미치는 인자로는 일반적으로 알려진 게이트 유전체의 두께, 게이트 전극의 폭 길이 이외에도 게이트 전극의 형태도 큰 영향을 미친다. 본 연구는 게이트 전극의 형태가 트랜지스터 성능에 미치는 영향에 대한 것이다. 투과 전자 현미경을 ... 전체 초록 보기

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