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Minju Kim (Incheon National University) Sang Moon Kim (Incheon National University)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 바이오공학부문 2021년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2021.4
수록면
119 - 119 (1page)

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The membrane with micro-sized apertures have been widely used in lithography masks, etching masks, microfluidic devices, and filters. And the membrane is made of various materials in consideration of rigidity, surface characteristics, transparency depending on the application such as biomimetic. In the case of fabrication of polymeric membranes with micro-dot patterns by using polydimethylsiloxane (PDMS) molds with pillar pattern, it has many advantages including conformal contact, low-cost, ease of the fabrication, and flexibility. However, the pillars in PDMS mold can be easily buckled by the force applied during the soft lithography process whe ... 전체 초록 보기
#Nature-inspired #Structural stability #Buckling #UV curable polymer #PDMS #soft lithography

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