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노영수 (홍익대학교) 박승호 (홍익대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 마이크로/나노공학부문 2021년도 춘계학술대회
발행연도
2021.5
수록면
79 - 79 (1page)

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Experimental and theoretical studies on vertical cavity surface emitting lasers (VCSELs) annealing for amorphous silicon (a-Si) crystallization process were carried out for investigation of the 700C to 1000C temperature range rapid solid-phase crystallization (SPC) characteristics. VCSEL with a wavelength of 980nm is a promising heat source with sufficiently high power and rapid power controllability. Since the crystallization process over 800C is completed in seconds, a-Si temperature control is one of the most important factors in the SPC process. For this, the temperature of the specimen and processing time was controlled by the proportional ... 전체 초록 보기
#High power VCSEL system #SPC at elevated temperature #PID control #Amorphous silicon #Polycrystalline silicon

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