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오동교 (포항공과대학교) 김주훈 (포항공과대학교) 고병수 (포항공과대학교) 김재경 (포항공과대학교) 윤관호 (서울과학기술대학교) 노준석 (포항공과대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 마이크로/나노공학부문 2021년도 춘계학술대회
발행연도
2021.5
수록면
116 - 116 (1page)

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Metasurfaces, composed of an array of nanostructures smaller than the wavelength of light, can control electromagnetic waves precisely due to the interaction of light with the nanostructures, and therefore metasurfaces such as meta-holograms and metalenses have been actively studied. Among them, meta-holograms are developing into multiplexed meta-holograms that react differently to various optical sources beyond realizing a single image with a single polarized light. Although electron beam lithography (EBL) has been mainly used to fabricate such multifunctional meta-hologram devices, nanostructures that make up metasurfaces become more complex and highly integrated and EBL only fabricates metasurfac ... 전체 초록 보기
#Soft nanoimprint lithography(소프트 나노임프린트리소그래피) #Multifunctional metasurface(다기능 메타표면) #Mechanical deformation(기계적 변형)

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