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한인희 (서울과학기술대학교) 송정근 (서울과학기술대학교) 이우승 (서울과학기술대학교) 손현지 (서울과학기술대학교) 김혜인 (서울과학기술대학교) 정은창 (서울과학기술대학교) 노현찬 (서울과학기술대학교) 김광준 (서울과학기술대학교) 정덕영 (서울과학기술대학교) 조건희 (서울과학기술대학교) 옥종걸 (서울과학기술대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 마이크로/나노공학부문 2021년도 춘계학술대회
발행연도
2021.5
수록면
131 - 131 (1page)

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Fabrication of micro- and nanopatterned device structures has largely leaned on nanofab-bound, usually vacuum-assisted protocol consisting of lengthy and expensive lithography and etching. Extending scalability, productivity, and applicability of these functional structures is thus highly called for. To this end, we devise a vacuum-free, all-solution-processible micro- and nanostructured device fabrication strategy also applicable to flexible plastic substrates at low temperature. More specifically with a tangible application exemplification, we develop a flexible UV sensor comprising ZnO nanowires (NWs) directly grown on the Ag microelectrode architecture. The Ag thin film can be simply fabricated by spin-coating reductive ionic Ag ink, followed by mild-t ... 전체 초록 보기
#Nanopatterning(나노패터닝) #Flexible substrate(유연기판) #Low-temperature process(저온 공정)

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