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논문 기본 정보

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학술대회자료
저자정보
박동현 (성균관대학교) 이동우 (성균관대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 재료 및 파괴부문 2021년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2021.6
수록면
97 - 97 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2022

조합 합성 및 고속 박막 변형 실험법을 통한 박막 인장 물성 연구
박동현 ,  이동우 대한기계학회 춘추학술대회 2022.06 학술대회자료

2021

조합 합성과 자유기립 템플릿을 활용한 박막의 인장 기계 물성 고속 측정 실험법 연구
박동현 ,  이동우 대한기계학회 춘추학술대회 2021.06 학술대회자료

초록· 키워드

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미소 크기의 시편의 압축 기계 물성측정의 경우 나노인덴터를 활용한 측정 방식이 상용화 되어 빠르게 실험을 진행할 수 있다. 하지만 인장 물성의 경우 시편 제작 및 실험의 난이도가 있어, 시간이 많이 소요된다. 본 연구에서는 빠른 시간내에 대량의 금속 박막 재료에 대한 인장 기계 물성 고속 측정을 위하여 마이크로 브리지 실험의 일종인 Membrane Deflection Experiment (MDE)<sup>1</sup> 방식을 도입하였다. MDE 방식의 경우 시편의 형상적인 조건을 활용하여 압입 실험을 통해 시편의 인장 물성을 획득할 수 있어 실험에 드는 시간을 단축할 수 있다. 간단한 MEMS 공정을 통해 수백개의 60 ~ 1000 ㎛ 길이의 마이크로 브리지 자유기립 시편을 제작하였 ... 전체 초록 보기
#High-throughput Experiment (고속 대량 측정법) #Thin Films (박막 기계 물성) #Combinatorial Synthesis (조합 합성)

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