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저자정보
김호장 (한국과학기술원) 최재훈 (한국과학기술원) 심기동 (한국과학기술원)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 신뢰성부문 2021년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2021.4
수록면
6 - 6 (1page)

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금속 박막은 집적 회로, 가스 센서, 마이크로 엑추에이터 및 마이크로 히터와 같은 다양한 소자에 광범위하게 활용된다. 대부분의 소자에서 자가지지 박막의 형태보다는, 서로 다른 재료로 이루어진 여러 층의 박막이 복잡하게 쌓인 적층 구조가 더욱 빈번하게 활용된다. 금속 층을 통해 전도되는 전기 및 열을 절연하고 금속 표면의 산화를 방지하기 위해 유전체 물질을 활용해 금속 박막을 코팅하는 경우가 많 다. 본 발표에서는 절연코팅된 금속 박막의 기계적 거동을 측정하기 위한 표준 미소제조 공정을 활용한 두 가지 시험 방법을 제시하고자 한다. 수 nm 두께의 SiNx 로 코팅된 서브 마이크론 두께의 알루미늄 박막이 샘플로 활용되었다. 첫 번째로는 SEM 내부 장착하여 사용할 수 있도록 제작-설계된 미소 인장 시험기를 활용해 절연코팅된 알루미늄 박막의 기계적 거동을 측정하였다. 시험기의 최대 변위는 250μm이며 변위 분해능은 10 ... 전체 초록 보기
#Thin films(박막) #Metal(금속) #Passivation(절연코팅) #Plastic deformation(소성변형)

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