붕소 도핑 다이아몬드의 두께 차이에 따른 전기 화학적 및 화학적 산소 요구량 특성 분석

송창원; 송풍근

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저자정보: 송창원 (부산대학교) 송풍근 (부산대학교)

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2021년도 한국표면공학회 춘계학술대회

발행연도: 2021.6

수록면: 130 - 130 (1page)

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본 연구에서, BDD (Boron-doped diamond) 필름은 BDD 전극의 제조 비용을 낮추기 위해 탄소 소스로 아세톤을 사용하고 붕소 소스로 TMB (trimethyl borate)를 사용하는 고온 필라멘트 화학 기상 증착법 (HFCVD)에 의해 증착 되었다. BDD 필름을 12 시간 및 60 시간 동안 증착하여 필름의 형상학적 거동의 변화와 전기 화학적 특성의 변화를 관찰했다. BDD 필름의 형상은 증착 시간에 영향을 받지 않았지만 증착 시간이 증가함에 따라 두께가 증가했다. 증착 시간이 증가함에 따라 BDD 필름의 증착 속도는 증가하거나 감소하지 않았다. 오히려 100 nm/h에서 ... 전체 초록 보기

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