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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김덕우 (부산대학교) 김지웅 (부산대학교) 김병주 (부산대학교) 차명식 (부산대학교)
저널정보
한국광학회 한국광학회지 한국광학회지 제31권 제6호
발행연도
2020.1
수록면
321 - 327 (7page)

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기판 위에 코팅된 박막의 빛 반사 특성에 대해 연구하였다. 입사 매질로 굴절률이 큰 프리즘을 사용하여 박막/기판 계의 내부 전반사 현상과 공기/박막/기판 계가 이루는 도파로로 빛이 결합되어 들어가는 현상을 종합적으로 비교, 연구하였다. 박막의 굴절 률이 기판의 굴절률보다 큰 경우에는 빛의 입사각을 증가시켜 나가면 먼저 기판에 의한 전반사가 일어나고, 그 이후 도파로 모드를 맞추는 좁은 각 영역에서 반사율이 떨어지는 현상을 볼 수 있으며, 이것을 이용하여 박막의 굴절률과 두께를 정확히 측정할수 있다. 반면에 박막의 굴절률이 기판의 굴절률보다 작은 경우에는 도파로 모드가 존재하지 않는다. 이 경우 덩어리 매질에서처럼 뚜렷하지는 않지만 박막에 의한 전반사가 간섭무늬를 동반하여 나타난다. 본 연구에서는 프리즘/박막/기판 구조에서 일어나는 반사 현상을 전반적으로 관측하고 분석하여, 두 경우 모두 박막의 굴절률을 측정할 수 있는 가능성을 조사하였다.
#박막 #내부 전반사 #간섭무늬

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T. Tamir / 1979 / Integrated Optics (Topics in Applied Physics Series Vol. 7) / Springer :83~93 google schola H. Osterberg / 1964 / Transmission of optical energy along surfaces : Part I, homogeneous Media / J. Opt. Soc. Am 54:1073~1078 google schola R. Ulrich / 1973 / Measurement of thin film parameters with a prism coupler / Appl. Opt 12:2901~2908 google schola M. L. Dakss / 1970 / Grating coupler for efficient excitation of optical guided waves in thin films / Appl. Phys. Lett 16:523~525 google schola J. D. Jackson / 1998 / Classical Electrodynamics / John Wiley & Sons google schola

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