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자료유형
학술저널
저자정보
오승진 (한국과학기술원) 마부수 (한국과학기술원) 김형준 (한국과학기술원) 양찬희 (한국과학기술원) 김택수 (한국과학기술원)
저널정보
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제27권 제3호
발행연도
2020.1
수록면
77 - 82 (6page)

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차세대 디스플레이 시장을 선도하기 위해서는 롤러블(rollable), 폴더블(foldable) 디스플레이와 같은 플렉서블(flexible) OLED 디스플레이의 상용화 및 양산화가 필수적이나, 실제 공정 및 굽힘 과정에서 발생하는 극심한 박막 내부응력 변화로 인한 기계적 파손 문제가 심각한 상황이다. 따라서, 플렉서블 디스플레이 구조에 사용되는 박막 재료의 기계적 물성을 파악하는 것은 제품의 강건한 설계 및 구조 최적화에 필수적이다. 본 논문에서는 물 표면 플랫폼을 이용한 나노 박막 인장 시험법을 적용하여 플렉서블 디스플레이 패널에 적용되는 금속 및 세라믹 박막 소재들의 인장 물성을 정량적으로 측정하였다. 스퍼터링(Sputtering)으로 증착된 Mo, MoTi 나노 박막과, 플라즈마 강화 화학 기상 증착법(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition, PECVD)으로 증착된 SiNx 나노 박막의 탄성 계수와 인장 강도 및 연신율을 측정하는 데 성공하였다. 결과적으로 박막의 증착 조건 및 두께에 따라 기계적 물성이 크게 변화할 수 있음을 확인하였으며, 측정된 인장 물성은 기계적으로 강건한 롤러블, 폴더블 디스플레이의 설계를 위한 응력 해석 모델링 데이터로 활용될 수있을 것으로 기대한다.
#Tensile Test #Thin Film #Mechanical Property #Rollable display #Foldable display

목차

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참고문헌 (13)

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Y. F. Liu / 2019 / Recent Developments in Flexible Organic Light?Emitting Devices / Advanced Materials Technologies 4(1):1800371 google schola 마부수 / 2020 / Mechanical Modeling of Rollable OLED Display Apparatus Considering Spring Component / 마이크로전자 및 패키징학회지 27(2):19~26 dbpia 이미경 / 2016 / 고온 신뢰성 시험에서 발생된 플렉서블 OLED의 휨 변형 / 마이크로전자 및 패키징학회지 23(1):17~22 dbpia 좌성훈 / 2018 / 봉지막이 박형 실리콘 칩의 파괴에 미치는 영향에 대한 수치해석 연구 / 마이크로전자 및 패키징학회지 25(1):1~10 google schola A. Kleinbichler / 2017 / Thin Film Adhesion of Flexible Electronics Influenced by Interlayers / Advanced Engineering Materials 19(4):1600665 google schola

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