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최근 레이저를 이용하여 환원된 친환경 그래핀 패턴 기술(Laser Induced Graphene, LIG)은 간단하고 효율적으로 원하는 형태로 다양한 기판 위에 패터닝하는 것이 가능하여 신축 유연 전자 소자, 박막 형태의 에너지 저장 소자 등과 같이 새로운 친환경 전자 소자 제작에 많이 활용되고 있다. 이러한 그래핀 패턴 구조를 이용한 전자 소자의 성능과 효용성을 높이기 위해서는 그래핀 고유의 2차원 특성을 유지하면서 가능한 최소한의 선폭을 구현할 수 있는 최적화된 레이저 패터닝 조건에 대한 연구가 필수적이다. 본 논문에서는 최근 레이저 그래핀 패턴 연구에서 많이 사용되는 Ti:sapphire 펨토초 레이저를 이용해서 그래핀 광-열 산화반응을 분석하여 최적화된 그래핀의 최소선폭을 구현하였다. 레이저 에너지의 확산 효과를 최소화하기 위하여 레이저 광강도와 레이저 스캔 속도를 조절하여 최적의 그래핀 특성을 나타내는 패턴을 연구하였으며 18 m의 집속된 빔을 이용하여 최소 30 m의 이차원 그래핀 선폭을 구현하였다.
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Zaaba, N. I. / 2017 / Synthesis of graphene oxide using modified hummers method : solvent influence / Procedia engineering 184:469~477
Trusovas, R. / 2016 / Recent advances in laser utilization in the chemical modification of graphene oxide and its applications / Advanced Optical Materials 4(1):37~65
Huang, L. / 2011 / Pulsed laser assisted reduction of graphene oxide / Carbon 49(7):2431~2436
Wang, F. / 2018 / Laser-induced graphene : preparation, functionalization and applications / Materials technology 33(5):340~356
Park, S. / 2018 / Fully laser-patterned stretchable microsupercapacitors integrated with soft electronic circuit components / NPG Asia Materials 10(10):959~969
Trusovas, R. / 2016 / Recent advances in laser utilization in the chemical modification of graphene oxide and its applications / Advanced Optical Materials 4(1):37~65
Huang, L. / 2011 / Pulsed laser assisted reduction of graphene oxide / Carbon 49(7):2431~2436
Wang, F. / 2018 / Laser-induced graphene : preparation, functionalization and applications / Materials technology 33(5):340~356
Park, S. / 2018 / Fully laser-patterned stretchable microsupercapacitors integrated with soft electronic circuit components / NPG Asia Materials 10(10):959~969
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