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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2021.10
- 수록면
- 88 - 88 (1page)
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Microsphere lithography (MSL) is a cost-efficient alternative to more conventional lithographic techniques such as electron-beam lithography (EBL). Based on the self-assembly of microspheres of monodisperse size distribution, MSL is often conducted with polystyrene (PS) microspheres which could be prepared in a wide range of diameters. While conventional MSL utilize hexagonal close-packed monolayers of PS microspheres followed by partial etching of the spheres, direct achievem ... 전체 초록 보기
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