웨이퍼 지연을 고려한 반도체 제조용 양 팔 클러스터 장비의 강화학습 기반 스케줄링

홍철희

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2018 .04

반도체 웨이퍼 제조 공정에서 품질과 생산성을 고려한 웨이퍼 할당 방법

이동희 ,  이창호 ,  최승현 외 2명

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2018 .11

클러스터 장비 내 웨이퍼 품질 향상을 위한 스케줄링: 웨이퍼 지연 및 흐름시간 제어

김민찬 ,  유태선

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2022 .06

챔버 내 웨이퍼 지연을 고려한 다중 슬롯 클러스터 장비의 구조 설계 및 스케줄링

지영준 ,  이태억

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2019 .04

Optimizing Hybrid Flow Shop Scheduling in Wafer Fabrication: Balancing Quality and Productivity

김민걸 ,  이창호 ,  스테판바르드 외 1명

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2024 .10

관측치 간 공간적 유사성과 변수의 상관관계를 고려한 반도체 웨이퍼 테스트 데이터의 결측치 대체 방법 개발

김주영 ,  김광재

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2022 .11

공장 간 이동이 있는 반도체 패키징 라인을 위한 심층 강화학습 기반 스케줄링

이채원 ,  박인범

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2023 .05

회귀분석을 이용한 반도체 웨이퍼 기울기 조절의 영향 인자 도출 및 개선

길준혁 ,  이나영 ,  신윤경 외 1명

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2023 .05

유연생산시스템 최적 스케줄링

안정선 ,  김현정

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2022 .06

반도체 제조 공정에서 graph attention networks를 이용한 웨이퍼 edge point 가상 계측 모델

양근우 ,  김창욱

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2021 .11

반도체 에칭 공정에서 웨이퍼 내의 공간 위치를 고려한 가상 계측 모형

이한강 ,  김창욱 ,  장재연 외 2명

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2017 .04

딥러닝을 활용한 반도체 웨이퍼 불량 유형 구분 모델에 관한 연구

백선재 ,  이민혁

한국통신학회 학술대회논문집

2022 .02

생산 스케줄링에 대한 강화학습 적용을 위한 시뮬레이션 프레임워크에 관한 연구

오승헌 ,  조영인 ,  남소현 외 3명

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2022 .06

강화학습을 활용한 방문 간호 스케줄링

김채영 ,  박지민

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2021 .11

[Tech Note] KAIST, 반도체 웨이퍼 절단 없는 두께 분석장비 개발

이창현

자동인식·비전

2023 .02

3D 프린터 기반 제조 시스템 스케줄링 알고리즘 개발

박상수 ,  이제훈 ,  김현정

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2018 .04

Automated System for Cleaning Semiconductor Wafer

So-Young Kwon ,  Young-Hyung Kim ,  Jong-Ik Pa 외 3명

한국정보기술학회논문지

2024 .09

지능형 데이터 분석 기반의 반도체 제조 품질 개선 연구 동향

이창호 ,  배영목 ,  이동희 외 2명

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2018 .04

반도체 공정 장비의 비주기적 스케줄링을 위한 혼합정수계획법

안정선 ,  김현정

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2023 .05

반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구

이욱현 ,  조종표 ,  정학근 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .06