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장영준 (한국재료연구원) 장지웅 (한국재료연구원) 김원석 (한국재료연구원) 김동식 (에이티에프) 김종국 (한국재료연구원)
저널정보
한국트라이볼로지학회 한국트라이볼로지학회 학술대회 2021년도 한국트라이볼로지학회 제71회 추계학술대회
발행연도
2021.10
수록면
124 - 124 (1page)

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본 연구는 Si-taC (Silicon-tetrahedral amorphopus carbon) 코팅의 구조, 기계적 특성, 열적 안정성 및 내구성에 특성에 대한 실험적 해석에 대한 것이다. Si-ta-C 코팅은 자장여과아크플라즈마 (filtered cathodic vacuum arc, FCVA)와 비평형 마그네트론 스퍼터링 (unbalnced magnetron sputtering) 공정의 동시 방전을 통해 제작되었다. 본 연구는 사면체비정질카본 (tetrahedral amorphous carbon, ta-C) 코팅 공정 중 스퍼터 파워를 25 W 에서 175 W로 증가하여 소량의 Si doping을 통해 ta-C 코팅 막의 높은 경도를 유지하면서 내열성과 같은 기능적 특성을 동시 제공하는 것을 목적으로 한다.
이를 위해, Si-taC 코팅 막의 Si doping 비율의 범위는 1.25 at.%에서 최대 6.04 at.%가 되도록 하였다. Si-taC 코팅 막의 열적 안정성은 Si doping 량에 관계 없이 ... 전체 초록 보기
#Si-taC #thermal stability #durability #Si-C bond

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