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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
주정아 (울산대학교) 장영준 (한국재료연구원) 김종국 (한국재료연구원)
저널정보
한국트라이볼로지학회 한국트라이볼로지학회 학술대회 2021년도 한국트라이볼로지학회 제71회 추계학술대회
발행연도
2021.10
수록면
196 - 197 (2page)

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사면체 비정질 카본 코팅 막 (terahedral amorphous carbon, ta-C)은 기계적, 화학적으로 우수한 특성으로 저마찰, 내마모성 및 고내구성이 요구되는 기계, 금형, 부품 등의 산업분야에 널리 사용 중이다. 그러나, ta-C 코팅 막의 경우, 원천적으로 Carbon의 이온 에너지가 (40 ~ 100 eV) 크므로 높은 sp³ 분율을 갖는 고경도 코팅이 가능하지만 1 ㎛ 이상의 후막 코팅과 내부응력 제어가 어려워 현재까지 다양한 산업분야로의 확장에 있어 제약요소가 있다.
이를 위해, ta-C 코팅 막의 다양한 후막화 코팅공정연구, 내부응력 제어 및 2종 소재를 포함하는 다층 코팅법 등이 보고되나 까다로운 공정조건, 코팅 시스템의 복잡성 및 비용 증대로 경제성이 있는 효과^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE11028196');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#

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