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Post-CMP에서 PVA 브러쉬의 구조적 특성과 세정효율의 상관관계
한국트라이볼로지학회 학술대회
2022 .04
Post-CMP cleaning에서 브러쉬 마모 예측을 위한 진동 신호 분석
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .12
Post-CMP의 다공성 브러쉬의 입자 제거 메커니즘과 고효율 세정을 위한 기공 스케일 미세화
한국트라이볼로지학회 학술대회
2024 .10
CMP 후 세정에서 브러쉬 및 웨이퍼 회전 속도에 따른 세정액 유동 특성
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .11
CMP 후 세정용 PVA 브러쉬의 접촉압력 분포 측정
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
CMP 후 세정에서 기능수의 효과
대한기계학회 춘추학술대회
2021 .11
CMP 공정 후 PCB세정에 관한 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2015 .04
CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
산화막 화학기계연마 공정 후 세정 중 다양한 계면활성제를 첨가한 SC1 기반 용액의 향상된 세정 효율 분석
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
구조화된 표면을 가진 패드를 적용한 세정공정에서의 세정 효율 향상을 위한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
고분자 결함 구조에 따른 CMP pad의 표면 형상 및 CMP 성능 변화 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .04
CMP 후 세정 공정에서 브러쉬 및 웨이퍼 회전 속도에 따른 세정액 유동 해석
Tribology and Lubricants
2024 .12
Effect of Brush Treatment and Brush Contact Sequence on Cross Contaminated Defects during CMP in-situ Cleaning
Tribology and Lubricants
2015 .12
Brushed DC 모터의 진동 예측을 위한 실험 장치 설계법 고찰
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2022 .12
진동성분을 고려한 Brushed DC 모터 모델의 파라미터 측정 방법 고찰
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2023 .04
Advances in CMP Technology over the Next Decade
한국트라이볼로지학회 학술대회
2024 .10
신경망을 이용한 SiO₂ CMP의 재료제거율 예측
한국트라이볼로지학회 학술대회
2024 .10
CMP 패드의 홈의 크기가 점탄성에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
CMP 를 적용한 패키지 기판의 다층배선 공정개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
PVA 브러쉬 스크러빙 공정에서 기공구조에 따른 오염입자 제거효율
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
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