반도체 실리콘 폴리싱기계의 위치제어 시뮬레이터 설계

김한아 ,  정제혁 ,  정민석 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2019 .10

Planetary 형 반응기에서 웨이퍼와 기판 사이의 틈새가 웨이퍼 온도에 미치는 영향에 대한 연구

정종완 ,  임익태

반도체디스플레이기술학회지

2017 .01

전륜 8 속 자동변속기 소음 개발에 대한 연구

홍사만 ,  이현구 ,  김무석 외 2명

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2016 .04

Design Improvement for a Planetary Gear System in Hydraulic Drive System

신유인 ,  윤찬헌 ,  한성길 외 2명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2016 .10

Optimal Selection of n-Type Wafer Resistivity and Lifetime for Industrial High-Efficiency Silicon Solar Cells

Cheolwook Kwon ,  Soohyun Bae ,  Sanghee Lee 외 8명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2024 .10

유성기어 감속기의 감속비에 관한 연구

김기훈 ,  백권인 ,  류성기

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2017 .10

SiC 웨이퍼 표면 10 ㎛ 두께 폴리싱을 위한 펨토초 레이저 가공

김준호 ,  조현호 ,  정지훈 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2024 .11

자동변속기 유성기어 소음을 고려한 시스템 분석용 프로그램 개발 및 적용에 관한 연구

이현구 ,  이상화 ,  김무석 외 5명

한국소음진동공학회논문집

2015 .07

하이브리드 폴리싱 공정의 에너지 모니터링을 통한 실리콘 카바이드 가공 소비 전력 효율 향상

김동률 ,  김민철 ,  김승기 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .10

SVM 기반 실리콘 웨이퍼의 마이크로크랙 분류에 관한 연구

김상연 ,  김경범

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2015 .10

Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors

H. Kim

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

Study of Cu Electrochemical Polishing for Redistribution Layer Process of Wafer Level Packaging

JinHyun Lee ,  Sanghwa Yoon ,  Bongyoung Yoo

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2022 .06

8톤급 유압윈치 시스템의 유성기어 감속기 설계에 관한 연구

김형진 ,  김동선 ,  진진 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2019 .10

레이저 기반 SiC 웨이퍼 박형화 공정

윤하영 ,  임재승 ,  한성흠 외 3명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2021 .07

유성기어 감속기의 치형수정 최적화에 관한 연구

류성기 ,  진진 ,  김현경 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

폐태양전지로부터 고순도 은(Ag)과 구리(Cu) 회수 및 실리콘 웨이퍼(Silicon wafer) 회수

최주환 ,  유광용

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2019 .04

Numerical Modeling on Epitaxial Growth of Silicon in a Planetary CVD Reactor

Zahe ,  Ramadan ,  Ik-Tae Im

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .11

Development of a High-Speed Depth Measuring Machine for through Silicon Vias on a 300 mm Silicon Wafer

홍순천 ,  윤석민 ,  우봉주 외 2명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2017 .05

박형 결정질 실리콘 웨이퍼 제조기술

김준수 ,  최선호 ,  장보윤 외 1명

한국에너지학회 학술발표회

2015 .04

Design of Gaussian Phase-shifting Algorithm for Surface Profile Measurement of a Silicon Wafer

J. C. Bae ,  J. Y. Yun ,  H. Kim 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05