Precision Interferometric Surface Measurement of Silicon Wafer Using Phase-extraction Algorithm Comprising Window and Discrete Fourier Function

J. R. Jeon ,  S. T. Kim ,  Y. J. Kim

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2021 .05

파장 주사 Fizeau 간섭계와 Gaussian 창함수를 이용한 실리콘 웨이퍼의 표면 형상 측정

배준철 ,  김환 ,  전주림 외 1명

대한기계학회 논문집 A권

2024 .07

고조파 위상 반복 분석법과 파장 주사 간섭법을 이용한 실리콘 웨이퍼의 표면형상 측정

김성태 ,  김양진

대한기계학회 논문집 A권

2022 .06

Optimal Selection of n-Type Wafer Resistivity and Lifetime for Industrial High-Efficiency Silicon Solar Cells

Cheolwook Kwon ,  Soohyun Bae ,  Sanghee Lee 외 8명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2024 .10

3D Surface and Thickness Profile Measurements of Si Wafers by Using 6 DOF Stitching NIR Low Coherence Scanning Interferometry

박효미 ,  최문성 ,  주기남

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2017 .02

웨이퍼 다이 시프트 비전 검사를 위한 스캐닝 시스템 최적화

기대간 ,  박성준 ,  이재향 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2017 .04

SVM 기반 실리콘 웨이퍼의 마이크로크랙 분류에 관한 연구

김상연 ,  김경범

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2015 .10

Development of a High-Speed Depth Measuring Machine for through Silicon Vias on a 300 mm Silicon Wafer

홍순천 ,  윤석민 ,  우봉주 외 2명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2017 .05

Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors

H. Kim

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

레이저 기반 SiC 웨이퍼 박형화 공정

윤하영 ,  임재승 ,  한성흠 외 3명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2021 .07

펨토초 레이저의 표면상 삼차조화파를 활용한 실리콘 웨이퍼의 측정 기술

이인재 ,  김대희 ,  김영진

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05

폐태양전지로부터 고순도 은(Ag)과 구리(Cu) 회수 및 실리콘 웨이퍼(Silicon wafer) 회수

최주환 ,  유광용

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2019 .04

대면적 웨이퍼의 다이 시프트 측정기법 개선 연구

기대간 ,  최우석 ,  박성준 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

Uncertainty Evaluation of Optical Wafer Thickness Measurements

C.-S. Kang ,  A. P. D ,  ija 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

3 차 조화파 기반의 깊이 방향 고분해능을 갖는 실리콘 웨이퍼의 비파괴 측정 시스템 개발

이인재 ,  김대희 ,  함지원 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

자중 변형을 보상한 300 mm 실리콘 웨이퍼의 형상 및 두께 분포 동시측정기술

박주현 ,  강주식 ,  이재용

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

300mm 대구경 웨이퍼의 다이 시프트 측정

이재향 ,  이혜진 ,  박성준

한국산학기술학회 논문지

2016 .06

박형 결정질 실리콘 웨이퍼 제조기술

김준수 ,  최선호 ,  장보윤 외 1명

한국에너지학회 학술발표회

2015 .04

Planetary 형 반응기에서 웨이퍼와 기판 사이의 틈새가 웨이퍼 온도에 미치는 영향에 대한 연구

정종완 ,  임익태

반도체디스플레이기술학회지

2017 .01

박형 결정질 실리콘 태양전지 웨이퍼의 다중와이어 절단

박성희 ,  문희찬 ,  최선호 외 1명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2015 .06