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저자정보
전병선 (나노스코프시스템즈)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2021.11
수록면
8 - 8 (1page)

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현장에서 서브마이크로미터의 공간 분해능으로 시료의 열분포 상태를 관찰할 수 있는 방법은 아직 상당히 제한적이다. 이를 가능하게 할 수 있는 기술로써 주목되고 있는 열반사 현미경법(Thermoreflectance Microscopy)은 측정 시료의 온도에 따라서 시료의 광학적 반사율이 변한다는 물리적인 현상에 근거하여, 광학적인 반사율의 변화량을 측정함으로써 대상 시료의 온도를 산출해 내는 기술로, 적외선 영상과 같은 전통적인 발열 영상 이미징 기법으로는 얻을 수 없었던 미세 영역에 대한 고해상도 열영상 이미징을 가능하게 하는 광학적 측정 기법이다. 기본적으로 광학 현미경법에 근간을 두고 있기 때문에, 열반사 현미경 기법을 레이저 스캐닝 방식으로 구현한 공초점 열반사 현미경법(Confocal Thermoreflectance Microscopy)으로 적용할 수 있으며, 이 경우 우수한 해상도의 열영상 이미지를 얻을 수 있고, ‘광학적 절편(Optical Sectionin ... 전체 초록 보기

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