Investigation of the influence of Yttria-Stabilized Zirconia Electrolyte Properties on Thin Film SOFC by Adjusting the Sputtering Process Parameters

Y. J. Jang; S. H. Lee; S. W. Cha

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Y. J. Jang (서울대학교) S. H. Lee (서울대학교) S. W. Cha (서울대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 추계학술대회 논문집

발행연도: 2021.11

수록면: 123 - 123 (1page)

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In this paper, the influence of Yittria-stabilized zirconia (YSZ) electrolyte properties on thin flim SOFC were investigated by adjusting the sputtering process parameters. Yttria-stabilized zirconia electrolyte for thin film solid oxide fuel cell (SOFC) was fabricated using radio frequency magnetron reactive sputtering with various process parameters adjusted, where process parameters are: target substrate distance (TSD), target substrate glancing angle(TSGA), substrate rotating speed (SRS). As anode, Ni-YSZ was first deposited on anodized alumina ... 전체 초록 보기

#PEMFC #GDL #Fuel cell #Hydrogen energy

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