Optimal Deposition Pressure of Yttria-stabilized Zirconia (YSZ) Sputtering for Low-temperature Thin Film SOFC

Y. J. Kim; S. B. Ryu; S. W. Cha

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Y. J. Kim (서울대학교) S. B. Ryu (서울대학교) S. W. Cha (서울대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2021.5

수록면: 154 - 154 (1page)

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Yttria-Stabilized Zirconia (YSZ) thin film electrolyte was fabricated under the optimized deposition pressure, and thin film solid oxide fuel cells (SOFCs) were tested and analyzed at the low-temperature window. YSZ is a material capable of conducting oxygen ion and stably insulating electrons, and so, it has been widely used as an electrolyte for SOFCs for a long time. The previous studies introducing thin film YSZ electrolyte by the sputtering method shows a large ohmic region when electrochemical impedance spectroscopy was applied. In those studies, only 5 mTorr was selected as the deposition pressure, which did not consider its effects on t ... 전체 초록 보기

#Solid oxide fuel cells #Thin films #Yttria stabilized zirconia #Sputtering #Pressure conditions

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S. B. Ryu

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