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장재경 (서울과학기술대학교) 조영학 (서울과학기술대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2021.11
수록면
381 - 381 (1page)

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본 연구에서는 간단한 SU-8 소프트리소그라피(Soft-lithography) 공정을 이용하여 다양한 T 자형 단면 T-shaped Cross-section) 형상을 가지는 미세 채널의 제작 공정을 제안하였으며, 제작된 채널들을 이용하여 점탄성 유체(Viscoelastic Fluid) 내에서 탄성-관성 집중(Elasto-inertial Focusing) 현상에 따른 미세입자들의 거동을 파악하였다. T 자형 단면 형상의 미세 채널은 포토리소그라피(Photolithography), PDMS 몰딩, 플라즈마 본딩(Plasma Bonding) 및 자가 정렬 과정을 통해 제작되었다. 포토마스크(Photomask) 디자인 및 SU-8 스핀코팅(Spin-coating) 속도 조절을 통해 다양한 채널 단면 형상을 제작할 ... 전체 초록 보기
#T-shaped cross-section #Elasto-inertial focusing #Particle separation

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