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저자정보
H. Lee (연세대학교) E. Jo (연세대학교) J. Kim (연세대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2021.11
수록면
389 - 389 (1page)

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Microelectromechanical systems (MEMS) are widely used from consumer electronics to automobiles; however, their usages in severe conditions, including environments with high mechanical shock over 10,000 g, have not been as commercialized. Accordingly, there have been researches for protecting the MEMS devices by fabricating components that would absorb the mechanical shock. The components within the microstructures of MEMS devices would absorb the mechanical shock containing high accelerations before the shock is transmitted to the delicate MEMS components. Nonetheless, shock absorbers that can function repeatedly, as for practical usages, have not been w ... 전체 초록 보기
#Carbon nanotube #Atomic layer deposition #Shock absorber #Mechanical shock

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