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구창연 (Korea Advanced Institute of Science and Technology) 김택수 (Korea Advanced Institute of Science and Technology)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 신뢰성부문 2022년도 춘계학술대회 초록집
발행연도
2022.3
수록면
29 - 30 (2page)

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#Thinned silicon wafers(얇은 실리콘 웨이퍼) #Three-point bending test(3 점 굽힘 시험법) #Flexural properties(굽힘 물성) #Size effect(두께 영향) #Crystallographic orientation(결정학적 방향) #Weibull modulus(와이블 형상계수)

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