마이크로 렌즈와 마이크로 액정 셔터 어레이를 이용한 새로운 디지털 노광 기술

김기홍; 나준희; 장원석

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김기홍 (한국기계연구원) 나준희 (충남대학교) 장원석 (한국기계연구원)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2022년도 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2022.5

수록면: 746 - 746 (1page)

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