MLA Hybrid SPPW 공정에서 다양한 마이크로렌즈의 형상이 고종횡비 패턴 구현에 미치는 영향에 관한 연구

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저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2024년도 추계학술대회 논문집

이용수

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#Microlens array #Self propagating polymer waveguide #Diffuser lithography #High aspect ratio

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