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논문 기본 정보

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저자정보
윤국현 (중앙대학교) 이봉재 (한국과학기술원) 이성혁 (중앙대학교)
저널정보
대한설비공학회 대한설비공학회 학술발표대회논문집 대한설비공학회 2022년도 하계학술발표대회 논문집
발행연도
2022.6
수록면
1,087 - 1,090 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

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This study aims to numerically analyze the energy transport of surface phonon polaritons(SPhPs) in the thin dielectric film. It is important to analyze the heat transfer characteristics of SPhPs to improve the heat dissipation of semiconductors. The Boltzmann transport equation(BTE) is used to consider the ballistic energy transport of SPhPs. The various film lengths and thicknesses are also considered to analyze the heat transfer performance. From the results, the temperature distributions are almost identical regardless of the film lengths owing to the long propagation length of SPhPs. The heat flux increases with the decrease of the film thickness due to the depth average assumption. The effective in-plane thermal conductivity also increases as the film length increases and thickness decreases, with the same tendency as theoretical results. It is confirmed that SPhPs can improve the thermal conductivity of bulk SiO₂ by about 29.2%.

목차

Abstract
1. 서론
2. 수치해석방법
3. 결과 및 논의
4. 결론
References

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