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반도체 검사장비용 열교환기의 온도 균일도 확보를 위한 DfAM 기술 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2022 .12
최적화 알고리즘을 이용한 반도체 프로브 척 유로 설계
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .11
세라믹 유전체 물질과 냉매 유로 형상에 따른 정전척 냉각에 관한 연구
반도체디스플레이기술학회지
2018 .01
3D 프린터 적층을 이용한 열교환기 온도분포에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2021 .06
온도 균일도 향상을 위한 대면적 서셉터의 설계 및 성능 시험
한국산학기술학회 논문지
2015 .06
정전척 표면의 세라믹물질 적층 순서에 따른 온도 특성에 관한 연구
반도체디스플레이기술학회지
2017 .01
유전 알고리즘을 이용한 반도체용 프로브 척 유로 설계 최적화
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2022 .12
유전 알고리즘을 이용한 반도체용 프로브 척 유로 설계 최적화
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2022 .12
유동해석과 열해석을 이용한 테스트 챔버 내 반도체 칩의 온도 균일도 분석
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .11
정전척 표면의 온도 균일도 향상을 위한 냉매 유로 형상에 관한 연구
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
정전척용 세라믹 히터의 온도균일도 향상을 위한 수치해석 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2020 .12
디젤 배기관내 우레아 수용액의 증발 및 혼합 특성에 관한 연구
한국자동차공학회논문집
2023 .05
온도균일도를 위한 열교환기의 격자구조 최적화
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2022 .04
The Effects of Heating Conditions on the Spray Uniformity of the Mixing Nozzle
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2020 .01
유동 균일성 향상을 위한 열교환기 세정 시스템용 센서 콘덴서 설계 최적화
한국수소및신에너지학회논문집
2024 .08
척-웨이퍼 시스템의 고온 온도균일성 향상을 위한 실험적 연구
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2020 .11
풍동 장치 내 공기 온도에 따른 속도 균일도 분석
한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집
2019 .12
핀-튜브 열교환기에서 불균형적 착상의 영향에 대한 연구
설비공학논문집
2023 .02
유동균일성 향상을 위한 열교환기 세정 시스템용 센서 콘덴서 가이드 베인 설계 최적화
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
3D 프린팅 기술을 이용한 반도체 검사 장비용 열교환기 설계 최적화
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2021 .06
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