반도체 칩 테스트용 챔버의 내부 유동 균일성 향상을 위한 설계 최적화

이대규 ,  마상범 ,  김성 외 3명

한국유체기계학회 학술대회 논문집

2021 .12

반도체용 칩 테스트 챔버 내부 유동 특성에 관한 연구

손용진 ,  김성 ,  이슬기 외 5명

한국유체기계학회 학술대회 논문집

2019 .07

반도체 칩 테스트용 챔버의 유동특성에 관한 수치적 연구

김성 ,  이대규 ,  마상범 외 2명

한국에너지학회 학술발표회

2021 .11

반도체 칩 검사장치의 간격 최적화를 위한 수치해석 연구

이대규 ,  정동열 ,  강채동 외 1명

한국유체기계학회 학술대회 논문집

2022 .06

챔버 내부 유로변경에 따른 반도체 칩 테스터 내부 유동 균일성에 관한 수치적 연구

이대규 ,  마상범 ,  김성 외 3명

한국유체기계학회 학술대회 논문집

2020 .11

반도체 칩 테스트용 챔버 형상에 따른 유동 균일성에 대한 수치적 연구

이대규 ,  마상범 ,  김성 외 3명

한국수소및신에너지학회논문집

2020 .10

이중 슬롯 안테나를 갖는 챔버의 구조 변화에 따른 웨이퍼 온도 균일도 개선

정성현 ,  정지훈 ,  김미진 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2022 .07

전산유체역학을 사용한 반도체 검사 장비 내 챔버에서의 열전달 해석

음푸른별 ,  안지은 ,  정세환 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2015 .04

1200~1800kw 선박엔진용 SCR 반응기의 유동 균일도 해석

심준호 ,  홍재형 ,  이지은 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .11

Numerical Simulation on Membrane Emulsification – Study the Effect of Process Parameters on Droplet Size

Nahid Hasan ,  Jophous Mugabi ,  Jae-Ho Jeong

한국유체기계학회 학술대회 논문집

2024 .07

열화상 측정 기술을 이용한 증기 챔버형 열확산 기기의 온도 균일도 평가

정재혁 ,  정욱철

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .11

챔버시스템 내 공기온도에 의한 유동특성 분석

박다인 ,  이상호 ,  공병진 외 2명

한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집

2024 .10

메타모델을 통한 반도체 검사장비 최적형상의 온도 균일도 평가

이승엽 ,  이재욱 ,  김다혜 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2022 .12

온도 시험 시 항온챔버의 내부 유동이 장비에 미치는 영향

김고은 ,  김기백 ,  한성욱 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2021 .11

제어 입력 비교를 통한 소형 열진공챔버 온도 제어 성능 평가

박성욱 ,  김승균

한국항공우주학회 학술발표회 초록집

2023 .11

높은 온도 균일도를 갖는 열진공시험용 열복사패널 설계 및 열유동 해석

조혁진 ,  전수환

한국항공우주학회 학술발표회 초록집

2020 .07

반도체 제조 장비와 전산유체역학

김호준

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2023 .05

반도체 증착 공정 챔버 내 기류 균일 분포를 위한 수치해석적 연구

이승재 ,  허동빈 ,  김태성

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .11

디젤 통합 후처리시스템의 내부유동특성에 관한 수치적 연구

조낙원 ,  문성준 ,  이호길 외 2명

한국자동차공학회 춘계학술대회

2017 .05

온도 균일도 향상을 위한 대면적 서셉터의 설계 및 성능 시험

양학진 ,  김성근 ,  조중근

한국산학기술학회 논문지

2015 .06