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구현지 (한국표준과학연구원) 김일권 (한국과학기술원) 권재용 (한국표준과학연구원) 강태원 (한국표준과학연구원) 조치현 (한국표준과학연구원) 김완식 (LIG넥스원) 홍성철 (한국과학기술원)
저널정보
한국전자파학회 한국전자파학회논문지 한국전자파학회논문지 제34권 제1호(통권 제308호)
발행연도
2023.1
수록면
15 - 24 (10page)

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본 논문은 웨이퍼상의 D-대역(110∼170 GHz) 반도체 회로의 산란계수, 전력, 잡음지수의 정밀 측정법에 대해 나타내었다. 산란계수 교정 알고리즘을 비교하고, 상용 CPW(coplanar waveguide) 교정 기준물의 총 너비에 따른 효과를 살펴보았다. 전력 측정에서는 정밀 선로 손실 평가를 통해, 측정값의 정확도를 높였다. 또한, 잡음지수 측정에서는 시스템 설정과 교정법을 나타내고, 선로 손실 보상에 대해서 살펴보았다. 측정 시스템에 대한 상세 구성과 고려할 점들을 나타내었으며, 설계한 저잡음 증폭기 칩에 대하여 측정한 결과를 보였다.
#D-Band Measurement #S-Parameter #Power #Noise Figure #On-Wafer Measurement

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 측정시스템 구성
Ⅲ. D-대역 저잡음 증폭기 측정 결과
Ⅳ. 결론
References

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