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권택돈 (삼성전자) 이수진 (한양대학교) 정재원 (한양대학교) 이재희 (한양대학교) 김민성 (한양대학교) 정재원 (한양대학교)
저널정보
대한설비공학회 대한설비공학회 학술발표대회논문집 대한설비공학회 2022년도 동계학술발표대회 논문집
발행연도
2022.11
수록면
21 - 24 (4page)

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본 연구는 반도체 Fabrication Plant에서 배출되는 배기가스의 냉열 에너지를 회수하여 외기조화기에 적용하고, 이에 따른 하절기 에너지 절감 가능성을 검토 하였다. 일반적으로 반도체 FAB에서 배출되는 배기가스 중 30~40%는 제조장비의 발열을 제거 후 하절기 외기대비 낮은 습구온도로 대기방출 되는데, 이 배기가스를 일반배기라 하며, 일반배기로 부터 냉열에너지를 회수 후 외기조화기의 인입공기 냉방에 사용하였다. 배기를 활용하기 위해 냉각탑을 연결, 증발냉각을 통해 온도가 낮은 냉각수를 생산하고, 이를 외기조화기의 하절기 미사용 부동액 순환계와 열 교환하게 하여 냉각 코일전단에서 인입 공기 냉각효과가 발생 하게 하였다. 적용 결과 하절기 기준 외기조화기의 냉방 필요 열량의 11.9%줄일 수 있는 냉열 회수 가능성을 확인하였으며, 냉열 회수를 위해 소모된 전력까지 감안한 실제 에너지 절감율을 높이기 위해서는 냉각탑의 액기비 선정이 중요하게 고려되어야 하는 것으로 판단한다.
#Semiconductor fabrication plant(FAB) #Clean Room(클린룸) #Exhaust gas(배기) #Outdoor Air-conditioner(외기조화기) #Cold Energy recovery(냉열회수) #Evaporative cooling(증발냉각)

목차

Abstract
1. 서론
2. 연구방법
3. Simulation 결과
4. 결론
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