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학술저널
저자정보
강준혁 (한국세라믹기술원) 김용현 (한국세라믹기술원) 신윤지 (한국세라믹기술원) 배시영 (한국세라믹기술원) 장연숙 (동의대학교) 이원재 (동의대학교) 정성민 (한국세라믹기술원)
저널정보
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제32권 제5호
발행연도
2022.10
수록면
212 - 217 (6page)
DOI
10.6111/JKCGCT.2022.32.5.212

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2022

탄화규소 단결정 성장을 위한 종자결정모듈의 탄화규소-흑연 간 접합계면의 기계적 특성 평가
강준혁 ,  김용현 ,  신윤지 외 4명 한국결정성장학회지 2022.10 학술저널

2021

SiC 단결정 성장을 위한 SiC-흑연 샤프트 접합특성 평가
강준혁 신소재공학과 2021.01 학위논문

초록· 키워드

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고온의 탄화규소 단결정성장공정에서는 탄화규소-흑연간의 열팽창계수의 차이로 인한 열응력이 크게 발생할 수 있어 흑연부재로부터 탄화규소 종자정이 분리되어 성장 중에 종자정이 떨어지는 문제가 발생할 수 있다. 그러나 이러한 탄화규소 종자정 모듈의 접합특성에 대한 연구는 현재까지 거의 보고된 바가 없다. 본 연구에서는 탄화규소-흑연 간의 접합특성을 평가하기 위해 3점 굽힘시험법을 응용한 복합모드꺾임시험(Mixed-Mode Flexure Test)을 통해 탄화규소-흑연을 서로 다른 접합제를 적용하여 접합한 시편의 접합 특성을 확인하고, 흑연 접착제의 미세구조를 분석하기 위해 라만분광법(Raman spectroscopy), X선 광전자분광법(X-ray Photoelectron Spectroscopy) 및 X선 전산화 단층촬영법(X-ray Computed Tomography)을 활용하였다. 이러한 일련의 과정을 통하여 선별한 접착성이 우수한 접착제를 적용하여 직경 50mm급의 탄화규소 종자 결정모듈을 제작하고, 이를 적용하여 고온의 상부종자용액성장 공정을 이용하여 공정 중 종자정의 탈락없이 성공적으로 직경 50mm급의 탄화규소 단결정을 성장시켰다.
#Silicon carbide #Graphite #Single crystal growth #Interface delamination #Bonding agent

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