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한국전기전자재료학회 Transactions on Electrical and Electronic Materials Transactions on Electrical and Electronic Materials 제23권 제3호
발행연도
2022.6
수록면
304 - 312 (9page)
DOI
https://doi.org/10.1007/s42341-021-00347-8

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This paper focuses on improving the performance of a MEMS technology based variable capacitor for high frequency wireless communication applications. The paper starts with a discussion on the Q factor and methods of improving it. A novel expression for the Q factor of a MEMS capacitor was derived from an equivalent T-line model of the capacitor. Using the derived expression for Q factor and other parameters, Ashby analysis was performed to choose the best materials for the dielectric layer and metal plates. Based on the analysis, the most suitable materials for the dielectric and metal plates were obtained to enhance the performance of the capacitor.

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