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논문 기본 정보
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- 학술저널
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- 저널정보
- 한양대학교 세라믹공정연구센터 Journal of Ceramic Processing Research Journal of Ceramic Processing Research 제23권 제5호
- 발행연도
- 2022.10
- 수록면
- 685 - 693 (9page)
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To improve the grinding efficiency of silicon nitride ceramic balls and save processing costs, the pretreatment of hydrofluoricacid that corrodes silicon nitride was introduced into the grinding process based on the chemical characteristics of siliconnitride ceramics that are not resistant to hydrofluoric acid. This paper mainly discusses the effect of hydrofluoric acidpretreatment on the corrosion and grinding of silicon nitride ceramic balls. Through comparison experiments of grindingsilicon nitride balls before and after corrosion, it is found that hydrofluoric acid can effectively destroy the structure andreduce the strength of silicon nitride ceramic on the surface. After pretreatment, the grinding removal efficiency of siliconnitride ceramic balls was significantly improved, the ball diameter variation was reduced, and there was no effect on theproperties of silicon nitride ceramic. This processing method is expected to be applied to the mass production of silicon nitrideceramic balls.
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