전착법으로 제작한 ZnO 다층박막 제작과 특성 분석

이행자; 박경희; 김종민; 장상목

doi:https://doi.org/10.4313/JKEM.2017.30.11.705

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저자정보: 이행자 (동아대학교) 박경희 (동아대학교) 김종민 (동아대학교) 장상목 (동아대학교)

저널정보: 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제30권 제11호

발행연도: 2017.11

수록면: 705 - 709 (5page)

DOI: https://doi.org/10.4313/JKEM.2017.30.11.705

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박막을 응용한 센서 시스템 제작과 물성 분석에 있어서 유효 표면적과 표면 형태는 아주 중요한 요소이다. 본 연구에서는 ZnO 다층박막의 응용 가능성을 검토한 것이다. ZnO 박막은 전착법과 어닐링 방법으로 형성하였고, 그들의 전기화학적 특성과 형상을 분석하였다. ZnO 박막의 미세구조와 전기화학적 특성은 온도와 주어진 전압에 따라 변하였다. 최적 특성은 전압 ?1.4 V와 전해조 온도 50 °C에서 얻어졌다. 박막의 구조도 어닐링에 따라 변하였다. 본 연구 결과, 전착법과 어닐링 방법으로 형성한 ZnO 다층박막이 센서 소재로 응용 가능하다는 것을 확인할 수 있었다.

#Electrodeposition #ZnO film #Annealing

참고문헌 (6)

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Gero Decher / 1991 / Buildup of ultrathin multilayer films by a self-assembly process, 1 consecutive adsorption of anionic and cationic bipolar amphiphiles on charged surfaces / Makromolekulare Chemie. Macromolecular Symposia 46(1):321~327

P. Podsiadlo / 2007 / Ultrastrong and Stiff Layered Polymer Nanocomposites / Science 318(5847):80~83

J. X. Wang / 2006 / Zinc oxide nanocomb biosensor for glucose detection / Applied Physics Letters 88(23):233106

L. W. Ji / 2009 / Ultraviolet photodetectors based on selectively grown ZnO nanorod arrays / Applied Physics Letters 94(20):203106

Masanobu Izaki / 1996 / Electrolyte Optimization for Cathodic Growth of Zinc Oxide Films / Journal of The Electrochemical Society 143(3):L53

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